在烘干设备时，为避免内部零件损坏，可以采取以下措施：

1. 控制烘干温度

‌了解材料耐热性‌：在烘干前，需要了解设备内部零件的材料及其耐热性。不同的材料有不同的热膨胀系数和熔点，过高的温度可能导致零件变形、熔化或性能下降。

‌设定安全温度范围‌：根据零件材料的耐热性，设定一个安全的烘干温度范围。确保烘干过程中的温度不会超出这个范围，以避免对零件造成损害。

2. 选择合适的烘干方式

‌避免直接加热‌：对于含有电子元件、塑料或橡胶等敏感材料的零件，应避免直接加热。这些材料在高温下容易变形、老化或产生有害物质。

‌使用间接加热或自然风干‌：对于这类敏感零件，可以选择使用间接加热方式(如烘箱内的热风循环)或自然风干，以降低温度对零件的影响。

3. 控制烘干时间和湿度

‌设定合理的烘干时间‌：烘干时间不宜过长或过短。过长的时间可能导致零件过度干燥而老化，过短的时间则可能无法彻底去除水分。

‌保持适宜的湿度‌：在烘干过程中，应保持适宜的湿度环境。过低的湿度可能导致零件表面干燥过快而产生裂纹，过高的湿度则可能影响烘干效果。

4. 定期检查和保养

‌检查零件状态‌：在烘干前和烘干后，应对设备内部零件进行检查，确保其状态良好、没有损坏或变形。

‌保养设备‌：定期对烘干设备进行保养和维护，包括清洁、润滑和更换磨损的零件等。这有助于提高设备的性能和延长使用寿命。

5. 注意安全操作

‌遵循操作规程‌：在烘干过程中，应严格遵循操作规程和安全标准，确保人员和设备的安全。

‌使用防护装备‌：在需要时，应佩戴适当的防护装备，如手套、护目镜等，以防止热气和化学物质对人员造成伤害。