臭氧消毒机在消毒过程中产生的臭氧气体，确实可能对部分实验器材造成一定的损害。具体来说，臭氧的强氧化性可能对金属、橡胶、塑料等材质的实验器材产生腐蚀或老化作用，从而影响其性能和寿命。

例如，臭氧可能会使金属器材表面氧化生锈，导致器材功能下降或失效;对于橡胶和塑料等材质，臭氧则可能加速其老化过程，使其变硬、变脆，甚至产生裂纹，进而影响器材的密封性和耐用性。

因此，在使用臭氧消毒机对实验室进行消毒时，需要特别注意以下几点：

‌选择合适的消毒时间‌：避免长时间暴露于臭氧环境中，以减少对实验器材的损害。

‌正确放置实验器材‌：将易受臭氧影响的器材放置在远离臭氧发生器的位置，或者使用专门的防护罩进行保护。

‌定期检查和维护‌：定期对实验器材进行检查和维护，及时发现并处理因臭氧消毒造成的损害。

综上所述，臭氧消毒机在消毒过程中确实可能对部分实验器材造成损害，但通过合理的使用方法和防护措施，可以有效降低这种损害的风险。